发明名称 | 绝缘体上半导体芯片 | ||
摘要 | 一种绝缘体上半导体(Semiconductor-On-Insulator;SOI)芯片,其提供平台隔离(Mesa Isolation)设置于硅膜覆盖的绝缘体上半导体芯片的一部分上,用以隔离硅膜。本实用新型的隔离结构更可包含传输系统的隔离结构,例如浅沟渠隔离(Shallow Trench Isolation;STI),以隔离硅膜。 | ||
申请公布号 | CN2746535Y | 申请公布日期 | 2005.12.14 |
申请号 | CN200420084609.3 | 申请日期 | 2004.07.30 |
申请人 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 发明人 | 杨育佳 |
分类号 | H01L27/12;H01L21/84 | 主分类号 | H01L27/12 |
代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王燕秋 |
主权项 | 1.一种绝缘体上半导体芯片,其特征在于,至少包含:一半导体层覆盖于一绝缘层上;具有一第一厚度的一第一区域位于该半导体层中,且该第一区域至少包括数个第一主动区,而该些第一主动区借由一浅沟渠隔离法所定义出;以及具有一第二厚度的一第二区域位于该半导体层中,且该第二区域至少包括数个第二主动区,而该些第二主动区借由一平台隔离法所定义出。 | ||
地址 | 中国台湾 |