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发明名称 FORMING METHOD OF CONTACT HOLE IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20050116483(A) 申请公布日期 2005.12.13
申请号 KR20040041514 申请日期 2004.06.07
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 LEE, SUNG KWON;LEE, MIN SUK;LEE, DONG DUK
分类号 H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
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