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Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Funktionalisierung von Biosensoren, insbesondere solchen auf Basis von auf einem fertig prozessierten Wafer angeordneten Halbleiter-Chips mit darauf aufgebrachten Sensorfeldern, die üblicherweise im Arrayformat angeordnet sind, und zwar eine Funktionalisierung beispielsweise mit organischen Molekülen wie z. B. Nukleinsäuren wie DNA, RNA und PNA bzw. deren Derivaten, Proteinen, Zuckermolekülen oder Antikörpern.
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