| 摘要 |
本发明系一离子掺杂装置，该装置包括：一反应室11；一用以将该反应室11内的气体量释放出去的释放段13；一在该反应室11内并包括一入口14的离子源12，穿过该入口14注入包含掺杂用之元素的气体，该离子源12将入口14注入的气体分解掉，以便产生含掺杂所用之元素的离子；一加速段23，用以将离子源12所产生的离子从离子源12拉出，并加速该离子朝向一安置在反应室内的目标物；以及一离子束电流计26，用以量测加速离子所造成的离子束电流。该离子束电流是藉离子束电流计26进行复数次的量测，而且如果量测结果表示离子束电流的稳定性，则该离子掺杂装置会自动的开始将含有掺杂所使用之元素的离子，布植到该目标物中。因此，提供一具有优良掺杂量可控制性的离子掺杂装置。 |
