三极CNT_FED中闸极与阴极电极共平面之结构及其制作方法TRIODE CNT-FED STRUCTURE GATE RUNNER AND CATHODE MANUFACTURED METHOD

摘要

本发明系有关一种三极CNT_FED中闸极与阴极电极共平面之结构及其制作方法，其主要系利用压印技术与喷墨法来制作二极CNT–FED中闸极与阴极共平面之结构。本发明之结构系包括一基板、复数个阴极板、复数个闸极延伸板、一可塑性介电层、复数个介电层开口以及复数个闸极电极。其中该复数个阴极板与该复数个闸极延伸板系为共平面，其系利用转写压印技术形成于基板上方，而该复数个介电层开口系利用压印技术形成。此外，闸极电极系利用喷墨法或网印法加以形成，其系延伸贯穿该可塑性介电层内部以连接至闸极延伸板，如此遂可实现闸极与阴极共平面结构之目的。