具有静电放电保护电路之液晶显示装置及其制造方法

摘要

处于矽氧化物薄膜31上的源极和汲极分别具有由透明电极ITO膜32和形成于ITO膜32上的金属膜33组成的双层结构。在源极与汲极之间形成间隙35，作为非源极和汲极区域。在源极和汲极上以及间隙35中形成氮化矽薄膜34(闸绝缘膜)。氮化矽薄膜34包括具有相对较大厚度的第一区域D1，和具有相对较小厚度的第二区域D2。氮化矽薄膜34的区域D2设有MIM结构。在氮化矽薄膜34上形成闸汇流排层36。在第二区域D2中形成MIM结构。