用于计量仪器的评估和优化方法

摘要

本发明涉及用于通过基于精确度和准确度确定总测量不确定性(TMU)，评估和优化计量仪器的方法及相关的程序产品。基于线性回归分析并从净残留误差除去参考测量系统不确定性(URMS)，计算TMU。TMU提供测试中的测量系统是否有能力检测正确的产品变化的客观和更准确的表示。

主权项

1.一种用于评估测试中的测量系统(MSUT)的方法，该方法包括以下步骤：(a)提供具有多个结构的衬底；(b)使用参考测量系统(RMS)测量所述多个结构的尺寸，以产生第一数据集，并通过所述第一数据集计算RMS不确定性(URMS)，其中所述RMS不确定性(URMS)定义为RMS精确度和独立确定的RMS总测量不确定性(TMURMS)之一；(c)使用所述MSUT测量所述多个结构的尺寸，以产生第二数据集，并通过所述第二数据集计算所述MSUT的精确度；(d)进行所述第一和第二数据集的线性回归分析，以确定所述MSUT的校正精确度和净残留误差；以及(e)通过从所述净残留误差除去所述RMS不确定性(URMS)，确定用于所述MSUT的总测量不确定性(TMU)。