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发明名称
METHOD AND OPTICAL DEFECT MEASUREMENT SYSTEM BY USING DIFFERENTIAL IMAGE
摘要
申请公布号
KR100527003(B1)
申请公布日期
2005.11.09
申请号
KR20030009257
申请日期
2003.02.14
申请人
发明人
分类号
G01N21/88;(IPC1-7):G01N21/88
主分类号
G01N21/88
代理机构
代理人
主权项
地址
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