发明名称 可节省制程成本之半导体装置及其制法
摘要 一种可节省制程成本之半导体装置及其制法,系将至少一半导体晶片电性连接至增层式基板上以形成一封装单元,并将该封装单元接置并电性连接至压合式基板而形成一半导体装置,俾有效缩小覆晶式晶片所需之具细线路之增层式基板面积,避免知为符合电子积集化需求而将一覆晶式半导体晶片直接接置并电性连接于一增层式基板所需较大之基板面积与增层数目,而导致之高制程成本且不利于大量生产与普及使用等问题,以及知压合式基板中无法提供具高密度输入输出(I/O)端之覆晶式半导体晶片所需之细线路基板等问题。
申请公布号 TWI242846 申请公布日期 2005.11.01
申请号 TW092119378 申请日期 2003.07.16
申请人 矽品精密工业股份有限公司 发明人 林英仁;蔡和易
分类号 H01L23/043 主分类号 H01L23/043
代理机构 代理人 陈昭诚 台北市中正区博爱路80号6楼
主权项 1.一种可节省制程成本之半导体装置,系包括:一增层式基板;至少一半导体晶片,系接置并电性连接至该增层式基板;一压合式基板,系用以承载并电性导接至该增层式基板;一封装胶体,系用以包覆住该半导体封晶片与增层式基板;以及多数之导电性元件,系植接于该压合式基板底面,俾供该半导体装置电性连接至外部装置。2.如申请专利范围第1项之可节省制程成本之半导体装置,复包含有一封装胶体用以包覆住该半导体晶片与该增层式基板上表面,俾形成一封装单元。3.如申请专利范围第1项之可节省制程成本之半导体装置,其中,该半导体晶片为覆晶式半导体晶片,其具有一电路面与一非电路面。4.如申请专利范围第3项之可节省制程成本之半导体装置,其中,该半导体晶片系以其电路面之金属凸块接置并电性连接至该增层式基板。5.如申请专利范围第3项之可节省制程成本之半导体装置,复包含有一覆晶底部填胶,用以填充至该覆晶式半导体晶片之下表面。6.如申请专利范围第3项之可节省制程成本之半导体装置,其中,该半导体晶片之非电路面系外露出该封装胶体。7.如申请专利范围第1项之可节省制程成本之半导体装置,其中,该导电元件为焊球。8.一种可节省制程成本之半导体装置,系包括:一增层式基板;至少一半导体晶片,系接置并电性连接至该增层式基板;一压合式基板,系用以承载并电性导接至该增层式基板;多数之焊线,系用以电性连接该增层式基板与该压合式基板;一封装胶体,系用以包覆住该半导体封晶片、增层式基板与焊线;以及多数之导电性元件,系植接于该压合式基板底面,俾供该半导体装置电性连接至外部装置。9.如申请专利范围第8项之可节省制程成本之半导体装置,其中,该半导体晶片为覆晶式半导体晶片,其具有一电路面与一非电路面。10.如申请专利范围第9项之可节省制程成本之半导体装置,其中,该半导体晶片系以其电路面之金属凸块接置并电性连接至该增层式基板。11.如申请专利范围第9项之可节省制程成本之半导体装置,复包含有一覆晶底部填胶,用以填充至该覆晶式半导体晶片之下表面。12.如申请专利范围第9项之可节省制程成本之半导体装置,其中,该半导体晶片之非电路面系外露出该封装胶体。13.如申请专利范围第8项之可节省制程成本之半导体装置,其中,该导电元件为焊球。14.一种可节省制程成本之半导体装置制法,系包括:提供一呈阵列排列之增层式基板,系包含有多数之基板单元;将至少一半导体晶片接置并电性连接至该增层式基板单元;进行切单,以分离各该电性导接有半导体晶片之增层式基板单元;以及将各该电性导接有半导体晶片之增层式基板单元接置并电性连接至一呈阵列排列之压合式基板并进行模压、植球与切单。15.如申请专利范围第14项之可节省制程成本之半导体装置制法,其中,于增层式基板切单前,可进行模压制程,俾使一封装胶体包覆住该半导体晶片与该增层式基板上表面。16.如申请专利范围第14项之可节省制程成本之半导体装置制法,其中,该半导体晶片为覆晶式半导体晶片,其具有一电路面与一非电路面。17.如申请专利范围第16项之可节省制程成本之半导体装置制法,其中,该半导体晶片系以其电路面之金属凸块接置并电性连接至该增层式基板。18.如申请专利范围第16项之可节省制程成本之半导体装置制法,其中,于该覆晶式半导体晶片藉由其电路面之金属凸块接置并电性连接至该增层式基板后,复可进行覆晶底部填胶制程。19.如申请专利范围第16项之可节省制程成本之半导体装置制法,其中,该半导体晶片之非电路面系外露出该封装胶体。20.如申请专利范围第14项之可节省制程成本之半导体装置制法,其中,该导电元件为焊球。21.一种可节省制程成本之半导体装置制法,系包括:提供一呈阵列排列之增层式基板,系包含有多数之基板单元;将至少一半导体晶片接置并电性连接至该增层式基板单元;进行切单,以分离各该电性导接有半导体晶片之增层式基板单元;将各该电性导接有半导体晶片之增层式基板单元接置并电性连接至一呈阵列排列之压合式基板;进行打线作业,以使该增层式基板电性导接至该压合式基板;以及对该电性导接有半导晶片与增层式基板之压合式基板进行模压、植球与切单。22.如申请专利范围第21项之可节省制程成本之半导体装置制法,其中,该半导体晶片为覆晶式半导体晶片,其具有一电路面与一非电路面。23.如申请专利范围第22项之可节省制程成本之半导体装置制法,其中,该半导体晶片系以其电路面之金属凸块接置并电性连接至该增层式基板。24.如申请专利范围第22项之可节省制程成本之半导体装置制法,其中,于该覆晶式半导体晶片藉由其电路面之金属凸块接置并电性连接至该增层式基板后,复可进行覆晶底部填胶制程。25.如申请专利范围第22项之可节省制程成本之半导体装置制法,其中,该半导体晶片之非电路面系外露出该封装胶体。26.如申请专利范围第21项之可节省制程成本之半导体装置制法,其中,该导电元件为焊球。图式简单说明:第1A至1D图系习知之压合式基板之制程剖面示意图;第2A至2E图系习知之增层式基板之制程剖面示意图;第3A至3E图系本发明之可节省制程成本之半导体装置之制法剖面示意图;第4图系本发明之可节省制程成本之半导体装置第二实施例剖面示意图;第5图系本发明之可节省制程成本之半导体装置第三实施例剖面示意图;以及第6图系本发明之可节省制程成本之半导体装置第四实施例剖面示意图。
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