晶圆搬运机

摘要

【物品用途】本创作系一种有关晶圆搬运机之新式样设计，通常安装于传输处理室内，被使用在半导体制造装置中，对于晶圆进行成膜处理时，在不开放于大气中的状态下，将晶圆由装载锁定处理室，利用真空机械臂，向传输处理室搬进或搬出。【创作特点】从各视图观之，主要特征为：本创作系扁长形体，其底部两根不同粗细之导轨形体上，横跨一块板片形体固定部，于该形体上，连接一根两段式弯折导线臂及两根前端成分叉状之多段式机械臂；使用时藉由电子计算机之指令，令两根机械臂，分别进行将处理后之晶圆取出，或将待处理之晶圆送入处理室；该整体出色独特之形状，为本创作之设计特点。