| 主权项 |
1.一种蒸镀用光罩之制造方法,系在将蒸镀材料于被蒸镀面蒸镀时所使用者,其特征为具备以下步骤:使用介插入具有耐蚀刻性且对指定药液具有溶解性的材料所形成的中间层,而将第1金属层与第2金属层层叠的薄板素材,从两面蚀刻上述薄板素材,于上述第1金属层上形成使蒸镀材料依所需要求通过用的开孔部,同时,以在上述第2金属层之上述第1金属层之上述开孔部的形成区域以外的区域内残存框部的方式,形成使蒸镀材料通过用的开孔部的步骤;及藉由指定药液使上述中间层的曝露部分溶解并除去的步骤。2.一种蒸镀用光罩之制造方法,系在将蒸镀材料于被蒸镀面蒸镀时所使用者,其特征为具备以下步骤:使用介插入具有耐蚀刻性且对指定药液具有溶解性的材料所形成的中间层,而将第1金属层与第2金属层层叠的薄板素材,从单面侧蚀刻上述薄板素材,于上述第2金属层,以残存框部的方式,形成使蒸镀材料通过用的开孔部的步骤;从与上述相同的单面侧,藉由指定药液使上述中间层的曝露部分溶解并除去的步骤;及从与上述相同的单面侧蚀刻上述薄板素材,在上述第1金属层之上述第2金属层之上述开孔部的形成区域内,形成使蒸镀材料依所需要求通过用的开孔部的步骤。3.一种蒸镀用光罩之制造方法,系在将蒸镀材料于被蒸镀面蒸镀时所使用者,其特征为具备以下的步骤:使用介插入具有耐蚀刻性且对指定药液具有溶解性的材料所形成的中间层,而将第1金属层与第2金属层层叠的薄板素材,从单面侧或两面蚀刻上述薄板素材,于上述第1金属层,形成使蒸镀材料依所需要求通过用的开孔部的步骤;藉由具有耐蚀刻性的保护膜以被覆上述薄板素材之形成有上述开孔部的第1金属层面的步骤;蚀刻由保护膜被覆上述第1金属层面的上述薄板素材,以在上述第2金属层之上述第1金属层之上述开孔部的形成区域以外的区域内残存框部的方式,形成使蒸镀材料通过用的开孔部的步骤;从上述薄板素材之第1金属层面剥离并除去上述保护膜的步骤;及藉由指定药液使上述中间层的曝露部分溶解并除去的步骤。4.如申请专利范围第1至3项中任一项之蒸镀用光罩之制造方法,其中,形成于上述第1金属层的开孔部,系具有指定图案的复数微细开孔部。5.如申请专利范围第1至3项中任一项之蒸镀用光罩之制造方法,其中,形成于上述第1金属层的开孔部,系黏性状开孔部。6.如申请专利范围第1至3项中任一项之蒸镀用光罩之制造方法,其中,具备仅在薄板材之一轴方向具有张力而将分别形成有开孔部于上述第1金属层及上述第2金属层的薄板材接合于支持框架的单面侧的步骤。7.如申请专利范围第1至3项中任一项之蒸镀用光罩之制造方法,其中,上述薄板素材之上述第2金属层的厚度系较上述第1金属层的厚度厚。8.如申请专利范围第1至3项中任一项之蒸镀用光罩之制造方法,其中,上述薄板素材之中间层系由钛形成,并由氟化氨系或氢氧化纳系薄膜液溶解除去其中间层的曝露部分。9.如申请专利范围第1至3项中任一项之蒸镀用光罩之制造方法,其中,上述薄板素材之中间层系由树脂材料形成,并由氢氧化纳系薄膜液溶解以除去其中间层的曝露部分。10.一种蒸镀用光罩,系在将蒸镀材料于被蒸镀面蒸镀时所使用者,其特征为:由层叠蒸镀用金属层、支持用金属层及中间层而成的薄板材料构成,其中,蒸镀用金属层,系由蚀刻处理形成使蒸镀材料依所需要求通过用的开孔部且密接于被蒸镀面;支持用金属层,系以在该蒸镀用金属层之上述开孔部的形成区域以外的区域内残存框部的方式,藉由蚀刻形成使蒸镀材料通过用的开孔部,以便补强支持上述蒸镀用金属层;及中间层,系溶解除去对应于该支持用金属层之上述开孔部的部分,且介插入该支持用金属层与上述蒸镀用金属层之间。11.如申请专利范围第10项之蒸镀用光罩,其中,形成于上述蒸镀用金属层的开孔部,系具有指定图案的复数微细开孔部。12.如申请专利范围第10项之蒸镀用光罩,其中,形成于上述蒸镀用金属层的开孔部,系黏性状开孔部。13.如申请专利范围第10至12项中任一项之蒸镀用光罩,其中,仅在上述薄板材之一轴方向具有张力而将支持框架接合于上述支持用金属层侧。14.如申请专利范围第10至12项中任一项之蒸镀用光罩,其中,上述薄板材之上述第2金属层的厚度系较上述第1金属层的厚度厚。图式简单说明:图1显示本发明之一实施形态,图1为同时显示蒸镀用光罩的俯视图,及将其部分放大的俯视图。图2为显示图1所示蒸镀用光罩之薄板材的一部分的示意剖面图。图3(a)~(e)为说明本发明之蒸镀用光罩之制造方法的一例的说明图,为分别显示各步骤的剖面图。图4(f)~(i)同样为分别显示各步骤的剖面图。图5(a)~(c)为有关将薄板材接合于支持框架的作业的说明图,为分别显示各步骤的立体图。图6(a)~(e)为说明本发明之蒸镀用光罩之制造方法的另一例的说明图,为分别显示各步骤的剖面图。图7(f)~(j)同样为分别显示各步骤的剖面图。图8(k)~(o)同样为分别显示各步骤的剖面图。图9为藉由图6至图8所示制造方法所制造之蒸镀光罩的薄板材的局部放大剖面图,为放大图8(o)之B部分的剖面图。图10(f)~(j)为说明本发明之蒸镀用光罩之制造方法的又一例的说明图,为分别显示各步骤的剖面图。图11(k)~(l)同样为分别显示各步骤的剖面图。 |
