| 发明名称 | 研磨剂组合物、其制备方法及研磨方法 | ||
| 摘要 | 研磨剂组合物，它是用于基板的研磨的化学机械研磨用研磨材料，含有(A)磨粒、(B)水系介质、(C)酒石酸、(D)三羟基甲基氨基甲烷及(E)选自丙二酸和马来酸的1种或1种以上，更好的是为了防止配线金属部的凹陷，还含有具有在配线金属表面形成保护膜的功能的苯并三唑等化合物。 | ||
| 申请公布号 | CN1682354A | 申请公布日期 | 2005.10.12 |
| 申请号 | CN03822423.2 | 申请日期 | 2003.09.25 |
| 申请人 | 清美化学股份有限公司;旭硝子株式会社 | 发明人 | 神谷广幸;次田克幸 |
| 分类号 | H01L21/304;C09K3/14 | 主分类号 | H01L21/304 |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 胡烨 |
| 主权项 | 1.研磨剂组合物，它是用于基材的研磨的化学机械研磨用研磨剂，其特征在于，含有(A)磨粒、(B)水系介质、(C)酒石酸、(D)三羟基甲基氨基甲烷、(E)选自丙二酸和马来酸的1种或1种以上。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||