| 发明名称 |
FLUID STORAGE AND DISPENSING SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1000291(B1) |
申请公布日期 |
2005.09.28 |
| 申请号 |
EP19990920081 |
申请日期 |
1999.04.28 |
| 申请人 |
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. |
发明人 |
WANG, LUPING;TOM, GLENN |
| 分类号 |
C23C14/24;C23C16/448;F17C1/00;F17C7/00;F17C7/02;F17C7/04;F17C9/02;F17C11/00;F17C13/00;F17C13/02;F17C13/04;H01L21/205;H01L21/265;H01L21/306;(IPC1-7):F17C7/04 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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