长度测量装置

摘要

本发明涉及一种封闭的长度测量装置，其外壳(3)构成一个用于支承扫描装置(2)的导向溜板(10)的导向轨道(31)。所述扫描装置(2)在所有方向X，Y，Z上刚性地固定在导向溜板(10)上并使导向溜板也刚性地固定在要被测量的机器部件(8)上。在安装外壳(3)时相对于一个机器导向体(12)的取向误差在测量运行时通过外壳(3)与装配部件(5，6)之间的垂直于测量方向X的挠性耦联部件(51，61)进行修正或者通过使用一个可弯曲松弛的外壳(30)进行修正。

主权项

1.一种长度测量装置，该装置用于测量一个第一机器部件(7)相对于一个第二机器部件(8)的相对位置，该测量装置具有-一个外壳(3，30)，它可以固定在第一机器部件(7)上；-一个位于外壳(3，30)内部的刻度尺(1，200)，其中该刻度尺(1，200)沿着外壳(3，30)在测量方向X上延伸地固定；-一个用于扫描刻度尺(1，200)的扫描装置(2)；-一个具有一个导向轨道(31)的直线导向体，该导向轨道刚性地附属于外壳(3，30)并具有一个支承扫描装置(2)的导向溜板(10)，该导向溜板在导向轨道(31)上沿着外壳(3，30)在测量方向X上导引，其中-所述导向溜板(10)在垂直于测量方向X的所有方向Y，Z上无缝隙地耦联在导向轨道(31)上；-所述外壳(3，30)这样构成并可以固定在第一机器部件(7)上，使该外壳在测量运行中至少可以在导引部位垂直于测量方向X偏转，由此在导向溜板(10)垂直于测量方向X移动时使所述外壳(3，30)在这个方向上随动；-所述导向溜板(10)具有固定机构(9)，通过固定机构可以使导向溜板在测量方向X和垂直于测量方向X的所有方向Y，Z上刚性地固定在第二机器部件(8)上。