| 摘要 |
<p>Полезная модель относится к области нанотехники, а более конкретно к нанотехнологическим устройствам.</p>
<p>В основу полезной модели положена техническая задача, состоящая в том, чтобы понизить работу выхода электронов из технологического материала.</p>
<p>Поставленная техническая задача решается тем, что устройство дополнительно снабжено источником пульсирующего СВЧ-напряжения с регулируемой частотой в пределах от 10 МГц до 20ГТц.</p>
<p>Применение предложенного устройства для получения наноструктур на подложке позволяет понизить работу выхода электронов из технологического материала.</p> |
