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发明名称 NEUTRAL BEAM SOURCE EQUIPPED WITH ELECTRO-MAGNET
摘要
申请公布号 KR20050089516(A) 申请公布日期 2005.09.08
申请号 KR20040014977 申请日期 2004.03.05
申请人 SUNGKYUNKWAN UNIVERSITY 发明人 YEOM, GEUN YOUNG;LEE, DO HAING;PARK, BYOUNG JAE
分类号 H01L21/3065;B23K9/00;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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