发明名称 Automatic Scraps Discharging Apparatus
摘要
申请公布号 KR100512700(B1) 申请公布日期 2005.09.07
申请号 KR20030051300 申请日期 2003.07.25
申请人 发明人
分类号 H01L21/78;(IPC1-7):H01L21/78 主分类号 H01L21/78
代理机构 代理人
主权项
地址