发明名称 ACCESS FLOOR FOR CLEAN ROOM
摘要
申请公布号 KR20050083293(A) 申请公布日期 2005.08.26
申请号 KR20040011771 申请日期 2004.02.23
申请人 LG ELECTRONICS INC. 发明人 YEO, SANG UK
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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