| 发明名称 |
CLEANING APPARATUS USING PLASMA GENERATING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20050081162(A) |
申请公布日期 |
2005.08.18 |
| 申请号 |
KR20040116434 |
申请日期 |
2004.12.30 |
| 申请人 |
PRONIX CO., LTD. |
发明人 |
CHUN, BYUNG JOON;PARK, JONG SUNG |
| 分类号 |
H01L21/304;B08B7/00;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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