衬底传递装置

摘要

本发明提供一种晶片操纵杆，其具有中心体，所述中心体具有第一末端和旋转轴。第一末端执行元件适于支撑第一晶片，其可旋转地连接到中心体的第一末端，从而定义中心体和第一末端执行元件之间的第一旋转轴；可选地，第二末端执行元件适于支撑第二晶片，其可旋转地连接到中心体的第二末端，从而定义中心体和第二末端执行元件之间的第二旋转轴。当中心体绕着中心旋转轴在第一方向上转动第一角距离时，与此同时，第一末端执行元件绕着第一旋转轴旋转，并且可选第二末端执行元件绕着第二旋转轴旋转。两个末端执行元件均转动第二角距离，并且，第二角距离大于第一角距离。一个或多个末端执行元件可以是无套的。

主权项

1.一种晶片操纵杆，其包括：中心体，其具有第一末端，第二末端和中心旋转轴；第一末端执行元件，其适于支撑第一晶片；并可旋转地连接在所述中心体的第一末端上，以定义所述中心体和所述第一末端执行元件之间的第一旋转轴，第二末端执行元件，其适于支撑第二晶片并可旋转地连接在所述中心体的第二末端上，以定义所述中心体和所述第二末端执行元件之间的第二旋转轴，驱动装置，其连接到所述中心体、所述第一末端执行元件和第二末端执行元件上，并且适于使所述中心体绕着所述第一中心旋转轴在第一方向上转动第一角距离，同时，绕着第一旋转轴旋转所述第一末端执行元件并且绕着第二旋转轴旋转所述第二末端执行元件转动第二角距离，该第二角距离大于所述第一角距离。