| 摘要 |
本发明揭示一种微影装置，其包含：一照明系统，其用于提供一投影辐射光束；一物件支撑件，其用于支撑一在该物件支撑件上之待置于该投影辐射光束之一光束路径中的平坦物件，该物件支撑件包含复数个支撑突起，该等复数个突起界定一用于提供一平坦支撑平面之支撑区；及一回填气体馈入体，其排列于该支撑区中，以当该物件为该物件支撑件所支撑时，将一回填气流提供至该物件之一后部，以于该物件与该物件支撑件之间提供改良的导热性。根据本发明，该支撑区系由一相对于该支撑平面而具有一降低之高度之边界区所环绕，使得该回填气流之范围并非仅限于该支撑区内。 |
