发明名称
摘要
申请公布号 JP3681998(B2) 申请公布日期 2005.08.10
申请号 JP20010205213 申请日期 2001.07.05
申请人 发明人
分类号 C23C16/44;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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