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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR PROVIDING AND INTEGRATING A GENERAL METAL DELIVERY SOURCE (GMDS) WITH ATOMIC LAYER DEPOSITION (ALD)
摘要
申请公布号 EP1560945(A2) 申请公布日期 2005.08.10
申请号 EP20030783276 申请日期 2003.11.10
申请人 GENUS, INC. 发明人 SNEH, OFER
分类号 C23C16/40;C23C16/448;(IPC1-7):C23C16/00 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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