| 主权项 |
1.一种IC针脚之检测装置,其系包括: 一第一测试台,该第一测试台系由一可移动之CCD或 雷射感测器及一可供置放IC元件之承盘所构成,配 合电脑的控制移至承盘内IC元件上,作为IC针脚与IC 元件基体间之基准高度、针脚间之节距、位置及 水平排列之检验,并藉由CCD或雷射感测器对IC针脚 由最高至最低处(或最低至最高处)作光投射,将其 区域所有垂直高度,针脚间之节距、位置及水平排 列之检验资料传输至电脑计算其平均高度,再与储 存资料分析比较,用以检验盘内的IC元件是否为良 品; 一第二测试台,该第二测试台系由一发光平台、分 别设置于发光平台二侧之第一折射部、一与该发 光平台对应设置之第二折射部、复数个光源装置 、一可将入射影像转换成像素信号之CCD或雷射光 源感测器、及一可吸取该IC元件之吸取装置所构 成,可藉由该吸取装置将第一测试台所测得为不良 品之IC元件吸取置放于该平台上,使光源装置之光 源投射于IC元件针脚之上层水平部份及下半部之 垂直部份,使其产生水平及垂直排列背影影像,再 由第一、二折射部将水平排,垂直排列之影像折射 至CCD或雷射光源感测器内,若空间足够亦可不经由 该第二折射部折射,直接将上述影像投射至CCD或光 源感测器内;而电脑将上述影像转换成像素,再计 算出节距、共面性、及站立距离,藉以再次判断该 IC元件是否为良品。 2.依据申请专利范围第1项所述之IC针脚之检测装 置。其中,该第一、二折射部系可为棱镜或镜片。 图式简单说明: 第一图,系本发明第一测试台之主要架构示意图。 第二图,系本发明第二测试台之主要架构示意图。 第二a图,系本发明第二测试台之另一实施架构示 意图。 第三图,系本发明之方块流程示意图。 |
