| 主权项 |
1.一种文件管理系统,其适用于半导体制程上之文件管理,其包括:一实体资料库,其包含复数制程相关文件,上述制程相关文件系依据复数分类项目为分类条件而储存于上述实体资料库中,并且上述制程相关文件系分别属于复数文件类型;一虚拟文件库,其包含复数虚拟文件,每一虚拟文件包含复数制程步骤记录,每一制程步骤记录至少包含分别指向属于上述文件类型之上述制程相关文件的复数文件连结栏位,用以对应于半导体制程上之单一制程步骤;以及一处理单元,其耦接于上述虚拟文件库,用以透过上述制程步骤记录中所包含之上述文件连结栏位,存取上述实体资料库中对应之上述制程相关文件。2.如申请专利范围第1项所述之文件管理系统,其中上述实体资料库储存机台名称、制程模组以及晶圆尺寸资料,其系用以作为该分类项目。3.如申请专利范围第1项所述之文件管理系统,其中上述实体资料库储存机台组态/基准(toolconfiguration/baseline)文件、机台参数(tool recipe)文件、机台监视(tool monitor)文件以及模组公开规格(module release specification)文件。4.如申请专利范围第1项所述之文件管理系统,其中上述虚拟文件库储存与一制程技术相对应的虚拟文件,且其所包含的内容符合上述制程技术之制程公开标准。5.如申请专利范围第1项所述之文件管理系统,其中上述处理单元更包含一资料滙入处理单元,用以根据上述分类项目,滙入一新制程相关文件于上述实体资料库中。6.如申请专利范围第1项所述之文件管理系统,其中上述处理单元更包含一资料更新处理单元,用以更新上述实体资料库中已存的制程相关文件。7.如申请专利范围第6项所述之文件管理系统,其中上述资料更新处理单元更包含一更新通知处理次单元,其系于上述制程相关文件更新时,发出文件内容更新通知。8.如申请专利范围第1项所述之文件管理系统,其中上述处理单元更包含一资料连结处理单元,用以将上述实体资料库中已存的制程相关文件之连结资讯载入上述制程步骤记录之文件连结栏位中,并依据上述文件连结栏位中记录的连结资讯,连结到上述实体资料库中相对应的文件,使得能够透过上述虚拟文件中的连结资讯存取对应之上述文件。9.一种制程相关文件管理系统,其包括:一实体资料库,其包含复数文件,上述文件系依据复数分类项目做为分类条件而储存于上述实体资料库中,并且上述文件分别属于复数文件类型;一虚拟文件库,其包含复数虚拟文件,每一虚拟文件包含复数记录,每一记录至少包含分别指向属于上述文件类型之上述文件的复数文件连结栏位;以及一处理单元,其耦接于上述虚拟文件库及上述实体资料库,其透过上述虚拟文件中各记录中所包含之上述文件连结栏位,存取上述实体资料库中对应之上述文件。10.如申请专利范围第9项所述之制程相关文件管理系统,其中上述实体资料库储存半导体制程相关文件。11.如申请专利范围第10项所述之制程相关文件管理系统,其中上述实体资料库储存机台名称、制程模组以及晶圆尺寸资料,其系用以作为该分类项目。12.如申请专利范围第10项所述之制程相关文件管理系统,其中上述实体资料库储存机台组态/基准(tool configuration/baseline)文件、机台参数(tool recipe)文件、机台监视(tool monitor)文件以及模组公开规格(module release specification)文件。13.如申请专利范围第10项所述之制程相关文件管理系统,其中上述虚拟文件库储存与一制程技术相对应的虚拟文件对应一制程技术,且其所包含的内容符合上述制程技术之制程公开标准。14.如申请专利范围第9项所述之制程相关文件管理系统,其中上述处理单元更包含一资料滙入处理单元,用以根据上述分类项目,滙入一新文件于上述实体资料库中。15.如申请专利范围第9项所述之制程相关文件管理系统,其中上述处理单元更包含一资料更新处理单元,用以更新上述实体资料库中已存的文件。16.如申请专利范围第15项所述之制程相关文件管理系统,其中上述资料更新处理单元更包含一更新通知处理次单元,其系于上述文件更新时,发出文件内容更新通知。17.如申请专利范围第9项所述之制程相关文件管理系统,其中上述处理单元更包含一资料连结处理单元,用以将上述实体资料库中已存的文件之连结资讯载入上述文件连结栏位中并依据上述文件连结栏位中记录的连结资讯,连结到上述实体资料库中相对应的文件,使得能够透过上述虚拟文件中的连结资讯存取对应之上述文件。18.一种文件管理方法,其适用于半导体制程上之文件管理,其包括:提供一实体资料库,其包含建立复数制程相关文件,并提供复数分类项目使得上述制程相关文件系据以为分类条件而储存于上述实体资料库中,并且上述制程相关文件系分别属于复数文件类型;提供一虚拟文件库,其包含建立复数虚拟文件,并于每一虚拟文件中建立复数制程步骤记录,每一制程步骤记录至少包含分别指向属于上述文件类型之上述制程相关文件的复数文件连结栏位,用以对应于半导体制程上之单一制程步骤;以及透过上述制程步骤记录中所包含之上述文件连结栏位,存取上述资体资料库中对应之上述制程相关文件。19.如申请专利范围第18项所述之文件管理方法,其中上述提供分类项目的步骤包含提供机台名称、制程模组以及晶圆尺寸之分类项目的步骤。20.如申请专利范围第18项所述之文件管理方法,其中上述提供一实体资料库的程序包含提供机台组态/基准(tool configuration/baseline)文件、机台参数(tool recipe)文件、机台监视(tool monitor)文件以及模组公开规格(module release specification)文件的步骤。21.如申请专利范围第18项所述之文件管理方法,其提供与一制程技术相对应的上述虚拟文件,且其所包含的内容符合上述制程技术之制程公开标准。22.如申请专利范围第18项所述之文件管理方法,进一步包含一资料滙入处理步骤,根据上述分类项目,滙入一新制程相关文件于上述实体资料库中。23.如申请专利范围第18项所述之文件管理方法,进一步包含一更新上述实体资料库中已存的制程相关文件的步骤。24.如申请专利范围第23项所述之文件管理方法,进一步包含更新通知处理步骤,于上述制程相关文件更新时,发出文件内容更新通知。25.如申请专利范围第18项所述之文件管理方法,进一步包含将资料库中已存的制程相关文件之连结资讯载入上述制程步骤记录之文件连结栏位中的步骤。图式简单说明:第1图显示依据本发明之文件管理系统之示意图。第2图显示依据本发明一实施例之实体资料库之示意图。第3图显示依据本发明一实施例之虚拟文件库之示意图。第4图显示依据本发明一实施例之文件管理方法之流程图。 |
