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发明名称 EXHAUST MANIFOLD FOR USE IN A DRY ETCHING CHAMBER
摘要
申请公布号 KR20050075564(A) 申请公布日期 2005.07.21
申请号 KR20040003231 申请日期 2004.01.16
申请人 TOKYO ELECTRON KOREA LTD. 发明人 MOON, YOUNG JAE;LEE, JEUNG WOO
分类号 H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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