压电管扫瞄平面定位误差修正装置

摘要

本发明系有关于一种压电管扫瞄平面定位之误差修正装置，系配合一压电管扫描器，其具有一活动端与一固定端，并利用一高压驱动单元驱动使活动端做平面运动，该误差修正装置包括：一二维光栅片；一读取二维光栅片二维位移讯号的光学式读取头；一与光学式读取头相接之讯号处理单元，以撷取光学式读取头之讯号；一与讯号处理单元相接之运算处理单元，以运算得到该压电管扫瞄器平面定位之误差修正参考值；以及一与压电管扫描器之高压驱动单元相连之平面扫描控制单元，用以控制高压驱动单元。一种压电管扫瞄平面定位之误差修正方亦一并揭示。