| 摘要 |
一种测试装置、好坏判断基准设定装置、测试方法以及储存其测试程式的记录媒体，其考虑到制程条件的变异性，能在高感度以及信赖性下，检测出静态电源电流值的异常。测试装置具备CPU10、输入部30、测定部40、输出部60、记忆部100。记忆部100具备测定点记忆区域11、样品测定资料记忆区域12、好坏判断基准记忆区域13、测定条件记忆区域14、测定资料区域15、好坏判断结果记忆区域17。CPU具备好坏判断基率设定装置20和好坏判断部50，其中好坏判断基准设定装置20具备依据静态电源电流值而设定测定点群组的测定点群组化部1、计算出使测定点群组化的静态电源电流值的变异的和为最小的加权平均值的最合适加权平均值计算部2、根据加权平均值计算出静态电源电流值的变异值的最大值的变异值计算部3以及好坏判断基准设定部4。 |
