发明名称 应用于单石整合之具有隔离结构的高压金氧半场效电晶体元件
摘要 本创作提出一种应用于单石整合之具有隔离结构的高压金氧半场效电晶体元件,一高压 P型金氧半场效电晶体包括有一置于一P型基板内之第一N型井,一第一P型区域系置于该第一N型井区内,一P+型汲极区域系置于该第一P型区域内,一P+型源极区域与一N+型接点区域形成一第一源极电极,该第一N型井将该高压P型金氧半场效电晶体的该P+型源极区域与该N+型接点区域包围起来,一高压N型金氧半场效电晶体包括有一置于该P型基板内之第二N型井,一第二P型区域系置于该第二N型井区内,一N+型汲极区域系置于该第二N型井内,一N+型源极区域与一P+型接点区域形成一第二源极电极,该第二P型区域系将该N型金氧半场效电晶体之该N+型源极区域与该P+型接点区域包围起来,数个分离的P型区域系置于该P型基板内提供电晶体间的隔离。
申请公布号 TWM269562 申请公布日期 2005.07.01
申请号 TW093220974 申请日期 2004.12.27
申请人 崇贸科技股份有限公司 发明人 黄志丰;杨大勇;林振宇;简铎欣
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项 1.一高压P型金氧半场效电晶体,包括有:一P型基板;一具有N型导电离子之第一N型扩散区,于该P型基板内形成一第一N型井;一具有P型导电离子之第一P型扩散区,于该第一N型井内形成一第一P型区域;一具有P+型导电离子之第一汲极扩散区,于该第一P型扩散区内形成一第一汲极区域;一具有P+型导电离子之第一源极扩散区形成一第一源极区域,其中一第一通道于该第一源极区域与该第一汲极区域间形成;一具有N+型导电离子之第一接点扩散区形成一第一接点区域,其中该第一N型扩散区将该第一源极区域与该第一接点区域包围起;具有P型导电离子之数个分离的P型扩散区,在该P型基板内形成数个P型分离区域以提供隔离特性;一第一薄闸氧化层与一第一厚场氧化层,形成于该P型基板上;一第一闸极,置放于该第一薄闸氧化层之上,用以控制该第一通道内的电流量;一矽氧化绝缘层,覆盖于该第一闸极与该第一厚场氧化层上;一第一汲极金属接点,具有一第一金属电极与该第一汲极扩散区相连接;以及一第一源极金属接点,具有一第二金属电极连接至该第一接点扩散区与该第一源极扩散区。2.如申请专利范围1所述之高压P型金氧半场效电晶体,位于该第一N型井内之该第一P型区域可为P型井制程。3.如申请专利范围1所述之高压P型金氧半场效电晶体,位于该第一N型井内之该第一P型区域可为P型基体制程。4.一高压N型金氧半场效电晶体,包括有:一P型基板;一具有N型导电离子之第二N型扩散区,于该P型基板内形成一第二N型井;一具有P型导电离子之第二P型扩散区,于该第二N型井内形成一第二P型区域;一具有N+型导电离子之第二汲极扩散区,于该第二N型扩散区内形成一第二汲极区域;一具有N+型导电离子之第二源极扩散区形成一第二源极区域,其中一第二通道于该第二源极区域与该第二汲极区域间形成;一具有P+型导电离子之第二接点扩散区形成一第二接点区域,其中该第二P型区域将该第二源极区域与该第二接点区域包围起;具有P型导电离子之数个分离的P型扩散区,在该P型基板内形成数个P型分离区域以提供隔离特性;一第二薄闸氧化层与一第二厚场氧化层,形成于该P型基板上;一第二闸极,置放于该第二薄闸氧化层之上,用以控制该第二通道内的电流量;一矽氧化绝缘层,覆盖于该第二闸极与该第二厚场氧化层上;一第二汲极金属接点,具有一第三金属电极与该第二汲极扩散区相连接;以及一第二源极金属接点,具有一第四金属电极连接至该第二接点扩散区与该第二源极扩散区。5.如申请专利范围4所述之该高压N型金氧半场效电晶体,位于该第二N型井内之该第二P型区域可为P型井制程。6.如申请专利范围4所述之该高压N型金氧半场效电晶体,位于该第二N型井内之该第二P型区域可为P型基体制程。图式简单说明:图一A系绘示一N型金氧半场效电晶体。图一B系绘示一P型金氧半场效电晶体。图二A系为传统高压金氧半场效电晶体元件之区域示意俯视图。图二B系为本创作之高压金氧半场效电晶体元件之区域示意俯视图。图三A系为传统高压金氧半场效电晶体元件之剖面图。图三B系为本创作之高压金氧半场效电晶体元件之剖面图。
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