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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR20050066321(A) 申请公布日期 2005.06.30
申请号 KR20030097591 申请日期 2003.12.26
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 HAN, KYU HEE;LEE, JU HYUN;YANG, HEE JEON;KIM, KI HYUN
分类号 H05H1/46;C23C16/00;C23C16/44;H01J37/32;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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