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发明名称 Mikrolithographie-Projektionsobjektiveinrichtung sowie Projektionsbelichtungsanlage
摘要
申请公布号 DE59912068(D1) 申请公布日期 2005.06.23
申请号 DE19995012068 申请日期 1999.12.23
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 DINGER, DR.
分类号 G02B17/06;G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G02B17/06
代理机构 代理人
主权项
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