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发明名称 Plasmaunterstützte, chemische Vakuumbeschichtungsanlage
摘要
申请公布号 DE4321639(B4) 申请公布日期 2005.06.02
申请号 DE19934321639 申请日期 1993.06.30
申请人 UNAXIS DEUTSCHLAND HOLDING GMBH 发明人 CORD, BERNHARD;BEICHLER, BARBARA
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/509;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32;H05H1/10;C23C16/50 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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