真空式夹头

摘要

一种具有一平坦上表面之真空夹头，该平坦上表面用于固定一平坦基板，而该基板系用于利用一切割锯进行切割，该真空夹头包括：一真空表面与一用于自下方照射该基板之至少一区域之光源。