发明名称 | 真空蒸镀设备用的蒸镀装置 | ||
摘要 | 真空蒸镀设备用的蒸镀装置具有一用电加热棒(8)加热的蒸发器(3),它连接在设计为空心体的喷管体(1)上。为了蒸镀,蒸汽从蒸发器(3)流入喷管体(1),并从那里从喷管缝隙(2)流出。 | ||
申请公布号 | CN1204289C | 申请公布日期 | 2005.06.01 |
申请号 | CN99120229.5 | 申请日期 | 1999.09.23 |
申请人 | 应用菲林股份有限两合公司 | 发明人 | G·科勒姆;H·诺德特;W·阿赫特纳 |
分类号 | C23C14/26 | 主分类号 | C23C14/26 |
代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 赵辛 |
主权项 | 1.真空蒸镀设备用的蒸镀装置,它具有一个用电加热器加热的蒸发器(3)和一个带喷管缝隙(2)的喷管体(1);上述蒸发器具有熔锅来蒸发被供给的金属,上述喷管缝隙用于排出产生的金属蒸汽;其中,喷管体(1)设计成空心体,蒸发器(3)具有一个连接在喷管体(1)上的、形成熔锅的蒸发器壳体(4),带蒸发器壳体(4)的蒸发器(3)与喷管体(1)的外周表面部分相连,喷管体(1)通过隔壁(11)分成具有喷管缝隙(2)的排汽室(13)和与蒸发器(3)连接的进汽室(12),隔壁(11)具有几个随着横截面中距离蒸发器壳体(4)的间距增大而增大的蒸汽通孔(14)。 | ||
地址 | 联邦德国阿尔策瑙 |