外观检查装置

摘要

一种外观检查装置，因为在沿X-Y方向移动自如的显微镜部2上安装一个彩色TDI行传感器的现有的外观检查装置中红(R)、绿(G)、蓝(B)各色成分的受光面积成为单色TDI行传感器的受光面积的1/3，故为了缩短检查所需的节拍时间而不得不增加显微镜部的个数，存在着显微镜部的光轴调整等所需的工作量增加这样的问题。在一个显微镜部(2)上安装二向棱镜(3)，分光成红(R)、绿(G)、蓝(B)各色成分，由各自的单色TDI行传感器(32)来接收所分光的各色成分，借此把显微镜部的个数减少到现有的1/3。

主权项

1.一种外观检查装置(1)，其特征在于，备有：对大体上平板形的被测定物(T)保持垂直的状态而相对于该被测定物(T)沿X-Y方向移动自如的显微镜部(2)，设在该显微镜部(2)的成像位置而把被测定物表面的图像变换成电气信号的单色行传感器，以及照明等离子体显示器的紫外线照明装置；针对由包含棱镜(34、35)的二向部(3)、棱镜(36)和带通滤光镜(33)所分光的各个三原色配置单色行传感器(32)，该棱镜(34、35)实施有二向膜，把由上述显微镜部接收的来自被测定物的光分光成光的三原色。