发明名称 |
PRESSURE TRANSFORMATION DEVICE IN SEMICONDUCTOR ION-IMPLANTATION CHAMBER |
摘要 |
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申请公布号 |
KR20050040584(A) |
申请公布日期 |
2005.05.03 |
申请号 |
KR20030076038 |
申请日期 |
2003.10.29 |
申请人 |
DONGBU ANAM SEMICONDUCTOR INC. |
发明人 |
KIM, MIN SUN |
分类号 |
H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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