发明名称 控制假配发之方法与系统
摘要 液体之假配发的控制系藉由纪录处理基材时之时间;纪录配发液体时之时间;以及比较处理基材时之时间与配发液体时之时间,藉以在需要进行假配发时产生假配发讯号。一种控制液体之假配发的系统,包括至少一资讯储存元件,用以储存处理基材时之时间以及配发液体时之时间。至少一处理器比较处理基材时之时间与配发液体时之时间,以判断须否需要进行做配发。
申请公布号 TW200515113 申请公布日期 2005.05.01
申请号 TW093114137 申请日期 2004.05.19
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 吴宏益;翁志荣;倪中政;游奕欣
分类号 G05B19/43 主分类号 G05B19/43
代理机构 代理人 蔡坤财
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号