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发明名称
控制假配发之方法与系统
摘要
液体之假配发的控制系藉由纪录处理基材时之时间;纪录配发液体时之时间;以及比较处理基材时之时间与配发液体时之时间,藉以在需要进行假配发时产生假配发讯号。一种控制液体之假配发的系统,包括至少一资讯储存元件,用以储存处理基材时之时间以及配发液体时之时间。至少一处理器比较处理基材时之时间与配发液体时之时间,以判断须否需要进行做配发。
申请公布号
TW200515113
申请公布日期
2005.05.01
申请号
TW093114137
申请日期
2004.05.19
申请人
台湾积体电路制造股份有限公司
发明人
吴宏益;翁志荣;倪中政;游奕欣
分类号
G05B19/43
主分类号
G05B19/43
代理机构
代理人
蔡坤财
主权项
地址
新竹市新竹科学工业园区力行六路8号
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