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发明名称 ABTASTEINHEIT FÜR EINE OPTISCHE POSITIONSMESSEINRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE50105625(D1) 申请公布日期 2005.04.21
申请号 DE20015005625 申请日期 2001.04.27
申请人 DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH 发明人 MAYER, J.;HOLZAPFEL, WOLFGANG;LOESCHCKE, KLAUS
分类号 G01D5/30;G01B11/00;G01D5/26;G01D5/347;H01L31/02;H01L31/103;H01L31/12;(IPC1-7):G01D5/26 主分类号 G01D5/30
代理机构 代理人
主权项
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