发明名称 MULTI SILICON FINS FOR FINFET AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20050035712(A) 申请公布日期 2005.04.19
申请号 KR20030071439 申请日期 2003.10.14
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 CHOE, JEONG DONG;JO, HYE JIN;KIM, SUNG MIN;LEE, CHANG SUB;LEE, SIN AE;YUN, EUN JUNG
分类号 H01L27/108;H01L21/336;H01L21/8234;H01L29/786;(IPC1-7):H01L27/108 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
主权项
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