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发明名称 Process for chemical treatment of semiconductor wafers
摘要
申请公布号 EP1176632(B1) 申请公布日期 2005.04.13
申请号 EP20010114834 申请日期 2001.06.28
申请人 SILTRONIC AG 发明人 BRUNNER, ROLAND
分类号 H01L21/308;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306;B08B3/08 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
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