发明名称 积体电路产品之实体线路位址标示系统及方法
摘要 一种积体电路产品之实体线路位址标示系统,包括一测试装置以及一取像装置。测试装置用以输出实体线路位址讯号,从而施加电压至积体电路中相应于实体线路位址讯号之第一实体线路,导通上述第一实体线路,并且发出命令以取得积体电路中连续区域之侦测影像。取像装置,用以接收命令,取得侦测影像,于侦测影像中,相应于被导通之第一实体线路之第一线路图形较相应于其他未被导通之实体线路之第二线路图形为亮。
申请公布号 TWI229196 申请公布日期 2005.03.11
申请号 TW092124176 申请日期 2003.09.02
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 林震标;丁正群
分类号 G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人 洪澄文 台北市大安区信义路4段279号3楼;颜锦顺 台北市大安区信义路4段279号3楼
主权项 1.一种积体电路产品之实体线路位址标示系统,包括:一测试装置,用以输出一实体线路位址讯号,从而施加电压至一积体电路中相应于上述实体线路位址讯号之一第一实体线路,导通上述第一实体线路,发出一命令以取得上述积体电路中之连续区域之一侦测影像;以及一取像装置,用以接收上述命令,取得上述侦测影像,上述侦测影像中,相应于被导通之上述第一实体线路之一第一线路图形较相应于其他未被导通之任何一第二实体线路之一第二线路图形为亮。2.如申请专利范围第1项所述之积体电路产品之实体线路位址标示系统,其中上述积体电路为一记忆体。3.如申请专利范围第1项所述之积体电路产品之实体线路位址标示系统,其中上述实体线路位址讯号为一位元线位址讯号或一字元线位址讯号。4.如申请专利范围第3项所述之积体电路产品之实体线路位址标示系统,其中上述第一实体线路为一位元线或一字元线。5.如申请专利范围第4项所述之积体电路产品之实体线路位址标示系统,其中上述第二实体线路为上述位元线或上述字元线。6.如申请专利范围第1项所述之积体电路产品之实体线路位址标示系统,其中于上述取像装置中,取得导通前之上述积体电路中相应于上述侦测影像之一原始布线影像,上述原始布线影像中,未包含任何相应于被导通之上述第一实体线路之上述第一线路图形。7.如申请专利范围第6项所述之积体电路产品之实体线路位址标示系统,其中上述实体线路位址讯号为一位元线位址讯号或一字元线位址讯号。8.如申请专利范围第7项所述之积体电路产品之实体线路位址标示系统,其中上述第一实体线路为一位元线或一字元线。9.如申请专利范围第8项所述之积体电路产品之实体线路位址标示系统,其中上述第二实体线路为上述位元线或上述字元线。10.如申请专利范围第1项所述之积体电路产品之实体线路位址标示系统,其中上述取像装置为一光电子能显微镜。11.如申请专利范围第1项所述之积体电路产品之实体线路位址标示系统,其中于上述取像装置中,比较上述原始布线影像以及上述侦测影像,从而得到上述积体电路中之上述实体线路之位址排列顺序。12.一种积体电路产品之实体线路位址标示方法,其方法包括下列步骤:输出一实体线路位址讯号,从而施加电压至一积体电路中相应于上述实体线路位址讯号之一第一实体线路,导通上述第一实体线路;以及取得相应于上述积体电路之一侦测影像,上述侦测影像中,相应于被导通之上述第一实体线路之一第一线路图形较相应于其他未被导通之任何一第二实体线路之一第二线路图形为亮。13.如申请专利范围第12项所述之积体电路产品之实体线路位址标示方法,其中上述积体电路为一记忆体。14.如申请专利范围第12项所述之积体电路产品之实体线路位址标示方法,其中上述实体线路位址讯号为一位元线位址讯号或一字元线位址讯号。15.如申请专利范围第14项所述之积体电路产品之实体线路位址标示方法,其中上述第一实体线路为一位元线或一字元线。16.如申请专利范围第15项所述之积体电路产品之实体线路位址标示方法,其中上述第二实体线路为上述位元线或上述字元线。17.如申请专利范围第12项所述之积体电路产品之实体线路位址标示方法,其中更包括一步骤,取得导通前之上述积体电路中相应于上述侦测影像之一原始布线影像,上述原始布线影像中,未包含任何相应于被导通之上述第一实体线路之上述第一线路图形。18.如申请专利范围第17项所述之积体电路产品之实体线路位址标示方法,其中上述实体线路位址讯号为一位元线位址讯号或一字元线位址讯号。19.如申请专利范围第18项所述之积体电路产品之实体线路位址标示方法,其中上述第一实体线路为一位元线或一字元线。20.如申请专利范围第19项所述之积体电路产品之实体线路位址标示方法,其中上述第二实体线路为上述位元线或上述字元线。21.如申请专利范围第12项所述之积体电路产品之实体线路位址标示方法,其中更包括一步骤,比较上述原始布线影像以及上述侦测影像,从而得到上述积体电路中之上述实体线路之位址排列顺序。图式简单说明:第1图系表示习知技术之记忆体实体布线示意图;第2图系表示本发明实施例之积体电路产品之实体电路编号标示系统示意图;第3a图系表示本发明实施例之原始布线影像示意图;第3b、3c、3d、3e图系表示本发明实施例之侦测影像示意图;第4图系表示本发明实施例之积体电路产品之实体线路位址标示方法之方法流程图。
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