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Die Erfindung betrifft eine Kalibrierungseinrichtung für die Kalibrierung eines Testerkanals einer Testereinrichtung, mit der integrierte Bauelemente auf einer Substratscheibe zum Testen mit elektrischen Signalen kontaktierbar sind, wobei die Kalibrierungseinrichtung eine Verbindungseinrichtung und einen flächigen Kontaktträger mit einer ersten Kontaktfläche und eine von der ersten Kontaktfläche isolierte zweite Kontaktfläche aufweist, die über die Verbindungseinrichtung elektrisch anschließbar sind, wobei die Verbindungseinrichtung geeignet ist, um die erste und die zweite Kontaktfläche mit der Testereinrichtung zu verbinden, wobei die erste Kontaktfläche im Wesentlichen von der zweiten Kontaktfläche umgeben ist, so dass beim Aufsetzen einer mit der Testereinrichtung verbundenen Nadelkarte auf den Kontaktträger der Kalibrierungseinrichtung eine der Kontaktierungsnadeln der Nadelkarte, die mit dem zu kalibrierenden Testerkanal verbunden ist, auf die erste Kontaktfläche aufgesetzt und im Wesentlichen mehrere oder alle der weiteren Kontaktierungsnadeln der Nadelkarte an nicht zu kalibrierenden Testerkanälen auf die zweite Kontaktfläche aufgesetzt werden.
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