| 主权项 |
1.一种基板移送装置,用于在一水平状态下自收容一基板的一基板收容盘中移除该基板,该基板移送装置包括:复数个支撑杆,其用于将收容在基板收容盘中的基板升起至该基板收容盘之上方;其中:该基板收容盘包括复数个开口,以插入该等复数个支撑杆;该等复数个支撑杆相对于该基板收容盘向上移动,并插入该基板收容盘的该等复数个开口以升起基板;该等复数个支撑杆各具有一充分长度以垂直插入通过垂直堆叠的复数个基板收容盘。2.如申请专利范围第1项之基板移送装置,进一步包括一用于上升及下降该基板收容盘之升降台,其间该基板收容盘放置在该升降台上;其中如果升降台向下移动,复数个支撑杆插入升降台上垂直堆叠的复数个基板收容盘的复数个开口。3.如申请专利范围第2项之基板移送装置,其中该升降台利用球螺杆机构向上及向下移动。4.如申请专利范围第2项之基板移送装置,其中该升降台利用皮带输送机构向上及向下移动。5.一种基板移送装置,用于在一水平状态下自收容一基板的一基板收容盘中移除该基板,该基板移送装置包括:一持盘单元,其用于在一水平状态下握持垂直堆叠的复数个基板收容盘之至少一者;及复数个支撑杆,其用于将一个从持盘单元释放的规定基板收容盘内收容的基板升起至该规定基板收容盘之上方;其中:复数个基板收容盘各包括复数个开口以插入复数个支撑杆;复数个支撑杆相对于该规定基板收容盘向上移动及插入该规定基板收容盘的复数个开口以升起在该规定基板收容盘中收容的基板。6.如申请专利范围第5项之基板移送装置,其中复数个支撑杆插入从持盘单元释放的复数个基板收容盘的复数个开口,以升起在该规定基板收容盘中收容的基板。7.如申请专利范围第5项之基板移送装置,进一步包括一用于上升及下降从持盘单元释放的至少一基板收容盘之升降台,其间该至少一基板收容盘放置在该升降台上;其中,如果垂直堆叠的复数个基板收容盘放在升降台上,当升降台向下移动时,复数个支撑杆插入升降台上放置的复数个基板收容盘的复数个开口,以升起在该规定基板收容盘内收容的基板。8.如申请专利范围第5项之基板移送装置,其中该持盘单元在水平状态下握持该等复数个基板收容盘的各盘。9.如申请专利范围第5项之基板移送装置,其中该持盘单元在水平状态下握持至少该等复数个基板收容盘之一,该至少一基板收容盘收容一基板。10.如申请专利范围第5项之基板移送装置,其中该持盘单元包括一接合爪以接合该至少一基板收容盘。11.如申请专利范围第5项之基板移送装置,其中该持盘单元利用摩擦力握持至少一个基板收容盘。12.如申请专利范围第7项之基板移送装置,其中该升降台利用球螺杆机构向上及向下移动。13.如申请专利范围第7项之基板移送装置,其中该升降台利用皮带输送机构向上及向下移动。14.一种用于移除收容在复数个垂直堆叠的基板收容盘之各盘中的一基板之方法,该方法包括以下步骤:(a)将复数个各收容一基板的基板收容盘中的最低基板收容盘与复数个各收容一基板的基板收容盘中的第二最低基板收容盘分离,并降下该最低基板收容盘;及(b)插入复数个支撑杆至下降的基板收容盘的复数个开口,藉而升起因复数个支撑杆而向下移动的下降基板收容盘收容的基板。15.如申请专利范围第14项之方法,进一步包括步骤(c)移送由复数个支撑杆升起的基板;其中重复步骤(a)至(c)。16.一种用于移除收容在垂直堆叠的复数个基板收容盘的各盘中的基板之方法,该方法包括以下步骤:(a)放置各收容一基板的复数个基板收容盘于升降台上面;(b)利用持盘单元握持复数个各收容一基板的基板收容盘的最低基板收容盘以外的复数个各收容一基板的基板收容盘之至少一者;(c)降下升降台及插入复数个支撑杆至升降台上放置的基板收容盘内形成的复数个开口,藉而升起由复数个支撑杆放置在升降台上的基板收容盘收容的基板;及(d)移送由复数个支撑杆升起的基板。17.如申请专利范围第16项之方法,进一步包括以下步骤:(e)步骤(d)后,升起升降台及使升降台上放置的基板收容盘接触由持盘单元握持的至少一基板收容盘中的最低基板收容盘;(f)从持盘单元释放该至少一基板收容盘并放置该释放的基板收容盘于升降台上面;及(g)步骤(f)后,再一次执行步骤(b)至(d)。18.如申请专利范围第17项之方法,其中重复步骤(e)至(g)。19.一种用于收容一基板至复数个垂直堆叠基板收容盘的各盘之方法,该方法包括步骤:(a)放置至少一未收容基板的基板收容盘于升降台上及插入复数个支撑杆至该等至少一基板收容盘形成的复数个开口;(b)在水平状态下放置一基板于复数个支撑杆上面;(c)升起升降台及收容由至少一基板收容盘中最高基板收容盘内支撑杆所支撑的基板;及(d)握持该基板收容盘,利用持盘单元收容基板。20.如申请专利范围第19项之方法,进一步包括以下步骤:(e)步骤(d)后,降下升降台及插入复数个支撑杆于至少一未收容基板的基板收容盘形成的复数个开口,其中重复步骤(b)至(e)。图式简单说明:图1为本发明使用的一范例性基板收容盘的平面图;图2为图1所示基板收容盘的立体图;图3为图1所示基板收容盘的部份断面图;图4为垂直堆叠在一起的复数个基板收容盘的部份断面图,图3所示为各个收容盘;图5为根据本发明之基板移送装置的前视图;图6为图5所示基板移送装置的侧视图;图7所示为图5所示基板移送装置的平面图;图8至17为图5所示基板移送装置之操作示意图,其用于从图1所示基板收容盘中移除一基板;及图18至25为图5所示基板移送装置之操作示意图,其用于放置基板于图1所示基板收容盘内。 |
