| 发明名称 |
DEVICE TO DETERMINE THE THICKNESS OF A CONDUCTIVE LAYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1504237(A1) |
申请公布日期 |
2005.02.09 |
| 申请号 |
EP20030727939 |
申请日期 |
2003.05.08 |
| 申请人 |
GALILEO VACUUM SYSTEMS S.R.L. |
发明人 |
LASAGNI, MASSIMO |
| 分类号 |
G01B11/06;(IPC1-7):G01B7/06;G01B21/08 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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