发明名称 压电单晶元件及其制造方法
摘要 本发明公开了一种积极地利用与极化方向直交的方向(横向振动模式)的机电耦合系数(k<SUB>31</SUB>)的压电单晶元件(器件)。具体而言,其特征是:极化方向(3)为赝立方晶的〔001〕轴时,压电元件端面的法线方向,相对于与畴结构直交的方向(n),处在0~15°或40~50°的范围内,其中,该畴结构存在于包含与极化方向(3)直交的〔010〕及〔100〕轴的结晶平面内。
申请公布号 CN1574408A 申请公布日期 2005.02.02
申请号 CN200410045750.7 申请日期 2004.05.21
申请人 川铁矿业株式会社 发明人 松下三芳;岩崎洋介
分类号 H01L41/18;H01L41/22 主分类号 H01L41/18
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人 樊卫民;郭国清
主权项 1.一种压电单晶元件,极化方向为赝立方晶的〔001〕轴时,具有良好的横向的振动模式的机电耦合系数k31,压电元件端面的法线方向与极化方向直交;压电元件端面的法线方向相对于与畴结构直交的方向,处在0~15°或40~50°的范围内,该畴结构存在于包含与极化方向直交的〔010〕及〔100〕轴的结晶平面内。
地址 日本东京都