导电性研磨垫及其制造方法

摘要

一种导电性研磨垫及其制造方法，导电性研磨垫的制造方法，是先提供具有模腔的模具，之后在模腔中注入高分子发泡体，并使导电物质分散于高分子发泡体中；然后使高分子发泡体硬化成型，接着再进行脱模步骤，取得一研磨垫。导电性研磨垫，包括：一高分子发泡体；一导电物质分散于高分子发泡体中。导电物质选自导电高分子聚合物、抗静电剂、碳黑、金属粉末、导电性填充物以及导电性纤维其中之一。高分子发泡体包括聚氨酯、环氧树脂、聚氨树脂、美耐明树脂及相关的热固性树脂发泡体。由于研磨垫具导电性而可提升研磨效率，并延长使用寿命，降低成本；其可并行应用于电解研磨与一般研磨，而可提升研磨效率；其在不增加其它制程设备下即可制作出导电性研磨垫，更加适于实用。

主权项

1、一种导电性研磨垫的制造方法，其特征在于其包括：提供一模具，该模具具有一模腔；在该模腔中注入一高分子发泡体，并且使一导电物质分散于该高分子发泡体中；使该高分子发泡体硬化成型；以及进行一脱模步骤，以取得一研磨垫。