光学游标测角装置及其测量范围和精度设计方法

摘要

光学游标测角装置及其测量范围和精度设计方法属于光电传感器设计技术领域。其特征是，它含有分别代表光学游标动尺和光学游标定尺的上掩膜板和下掩膜板，所述上掩膜板和下掩膜板的位置相对固定且相互平行，在上掩膜板的有一条代表测量零点的遮光的宽的零点暗条纹，在所述零点暗条纹的两边对称的且等周期的分布着通光和遮光的明暗相间的条纹；在所述下掩膜板上等周期的分布着通光和遮光的明暗相间的条纹；所述上掩膜板上的明暗条纹的周期与下掩膜板上的明暗条纹的周期不相等；在所述下掩膜板的下方放置着一块光电转换器。本发明还提出了测量范围和精度的设计方法，通过适当设计能同时实现宽范围和高精度角度测量。

主权项

1、光学游标测角装置，其特征在于，它含有分别代表光学游标动尺和光学游标定尺的上掩膜板和下掩膜板，所述上掩膜板和下掩膜板的位置相对固定且相互平行，在上掩膜板的中央有一条代表测量零点的遮光的宽的零点暗条纹，在所述零点暗条纹的两边对称的且等周期的分布着通光和遮光的明暗相间的条纹；在所述下掩膜板上等周期的分布着通光和遮光的明暗相间的条纹；所述上掩膜板上的明暗条纹的周期与下掩膜板上的明暗条纹的周期不相等；在所述下掩膜板的下方放置着一块光电转换器。