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发明名称
INTERFEROMETERSYSTEM UND LITHOGRAPHISCHES GERÄT MIT EINEM SOLCHEN SYSTEM
摘要
申请公布号
DE69820856(T2)
申请公布日期
2004.12.30
申请号
DE19986020856T
申请日期
1998.11.27
申请人
ASML NETHERLANDS B.V., VELDHOVEN
发明人
LOOPSTRA, ROELOF;STRAAIJER, ALEXANDER
分类号
G01B9/02;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20
主分类号
G01B9/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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