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发明名称 CONTACT TEMPERATURE PROBE AND PROCESS
摘要
申请公布号 EP1490660(A1) 申请公布日期 2004.12.29
申请号 EP20030745675 申请日期 2003.03.31
申请人 AXCELIS TECHNOLOGIES INC. 发明人 COLSON, MICHAEL;SRIVASTAVA, ASEEM
分类号 G01K1/12;G01K1/14;G01K1/18;(IPC1-7):G01K1/14 主分类号 G01K1/12
代理机构 代理人
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