步进调谐复合式外腔半导体激光器

摘要

本发明公开了属于可调谐激光器的一种步进调谐复合式外腔半导体激光器。它是在半导体激光芯片的两边分别放置准直透镜和平面反射镜。其平面反射镜分为固定不动和可移动的反射镜，由此，形成了具有双外腔结构的复合式激光谐振腔。调谐移动平面反射镜在轴上的位置可以使两外腔的不同阶次纵模依次重合，使复合外腔激光器的输出单模激光频率被步进调谐。该激光器可以通过反射镜的较小位移得到输出频率较大跨度的调谐，调谐信道数可达几十个以上。各信道功率不随频率变，基本一致，扩大了激光器的应用范围。

主权项

1.一种步进调谐复合式外腔半导体激光器，所述复合式外腔半导体激光器由在半导体激光芯片两边分别放置准直透镜和在一定距离放置平面反射镜形成具有双外腔的复合式激光谐振腔；其特征在于：所述两个平面反射镜都能用作激光器的输出镜，其中一个为固定反射镜，用作激光输出镜，其所在外腔为固定外腔，设固定外腔光学长度为L1，纵模间隔为Δν1＝c/(2L1)，是步进调谐的步长间隔；另一个为移动反射镜，沿光轴方向移动，所在外腔为调谐外腔，设其光学长度为L2，L2接近L1值，但不等于L1，调整调谐外腔反射镜沿光轴方向的位移ΔL2，，用于调谐调谐外腔的纵模频谱位置，使两外腔的不同阶次纵模依次重合，而使复合外腔激光器的输出单模激光频率被步进调谐。